时间:2018-12-02 22:41:00作者:浏览量:
分子泵机组是由分子泵、前级泵、电磁挡板阀、放气阀、真空管道、真空计、分子泵电源、控制电源等组装于机架而成的高真空获得设备。该分子泵机组可广泛用于表面分析,加速器技术,半导体设备,等离子技术及真空技术各领域。
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名称型号 | FJ-110分子泵机组 | FJ-600分子泵机组 |
分子泵型号 | FF-110/110 | FF -160/600 |
前级泵型号 | TRP-12 | TRP-24 |
抽气速率 | 110L/S | 600L/S |
极限真空 | 优于6.0×10-5Pa | |
真空计型号 | ZDF-5227复合真空计 | |
冷却方式 | 风冷或水冷 | 风冷 |
环境温度 | 5~40℃ | |
控制系统 | 手动控制 | |
供电要求 | 单相220V,功率2KW; |