HZ-300高真空电阻蒸发镀膜机

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        HZ-300高真空电阻蒸发镀膜机采用大抽速分子泵真空系统，机架电控一体化设计，整体布局紧凑合理。两组蒸发源可兼容金属、有机物蒸发。广泛应用于高校、科研院所制备功能薄膜、蒸镀电极、扫描电镜制样等，特别适合太阳能电池、有机EL、LED显示管研究与开发领域。

电话：139 8618 6639

产品特点
▶玻璃钟罩真空腔室，最直观的蒸发状态和薄膜沉积现象观察；
▶分子泵和直联旋片泵，大抽速准无油真空系统；
▶水冷式蒸发电极，可长时间稳定工作，兼容金属材料与有机材料的蒸发源设计；
▶专业真空蒸发电源，数显工作电流和电压，恒流输出；
▶可镀110mm方形基片或15～25mm ITO/FTO玻璃25片，可定制一体化高精度刻蚀掩膜板；
▶可沉积金属（Au, Ag, Al, Ca, Cu, Mg, Fe, Cr, Ni等）、非金属、化合物（MoO3, LiF等）及有机物材料，可拓展沉积单层膜、多层膜及混合膜；
▶设备集成度高，结构紧凑，占地面积小；设备配脚轮，方便移动和定位；
技术指标